提供高频高压电能驱动臭氧发生器的电源装置，也是臭氧发生系统的核心部件之一。按工作频率可分为工频臭氧电源（频率50-60Hz),中频臭氧电源（频率500Hz-1000Hz),高频臭氧电源（频率5KHz-20KHz)。臭氧电源可以驱动的负载为：玻璃，陶瓷，搪瓷等介质制造的臭氧放电体。臭氧电源的常用规格有：1KW，2KW，5KW ，10KW，20KW，60KW，100KW等。目前最为先进的臭氧电源是高频臭氧电源。它由EMI电路，整流滤波电路，PFM控制电路，IGBT逆变电路，升压电路等电路组成。（左图为大型臭氧电源高压变压器、右图为10KW高频臭氧电源）