名称

简介

参数

名称

三维形貌测量系统

简介

栅线投影三维形貌测量系统可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头，也可配备普通变焦镜头，使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量，也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。系统配有专用的相移条纹图像处理软件，使得系统测量精度明显提高，并且使用方便、操作简单。

参数

主要技术指标：

● 光源：150W光纤冷光源

有效测量范围：

细观：X、Y方向的有效测量范围：0.5×0.7mm2～5×7mm2

X、Y方向的测量分辨力：0.5um～5.0um

深度（Z）方向测量范围： 0.5um~300um(最大放大倍数)~5um~3mm( 最小放大倍数)

Z方向测量分辨力： 0.01um(最大放大倍数)～0.1um(最小放大倍数)

宏观：X、Y方向的有效测量范围：100×140mm2～ 1000×1400mm2

X、Y方向的测量分辨力：0.1mm～1.0mm

深度（Z）方向测量范围：30mm~300mm

Z方向测量分辨力：0.01mm～0.1mm

分辨率： 1/20光栅节距

显示速率：25帧/s

细观测量：采用10 倍手动变焦镜头

软件：相移三维变形测量软件

图像分辨率：1280×1024(细观 2560×1920）