三氯化硅化学方程式：SiHCl3

主要反应：

Si+3HCl→SiHCl3+H2 放出50.0kcal/mol的热量。

Si+4HCl→SiCl4+H2 放出54.6kcal/mol的热量。除了四氯化硅外还会生成二氯二氢硅。

三氯化硅在潮湿的空气中极易发生水解反应，放出大量的氯化氢和氢气，污染环境,并易发生火灾.。水解反应方程式：

SiHCl3+2H2O→SiO2+HCl+H2

因此，三氯化硅要贮存在干燥、阴凉、通风处，舱内温度不宜超过25℃，着火后要用砂土、干粉灭火器、CO2灭火器扑救，严禁用水灭火。小量泄露时，用砂土或其他不燃材料吸附或吸收；大量泄漏时，构筑围堤或挖坑收容，用泡沫覆盖，降低蒸汽灾害，再按规定清除。