词条 | 切克劳斯基技术 |
释义 | 切克劳斯基技术(Czochralski technique)是拉制单晶体的一种重要技术,又称为直拉单晶技术。实际上,该技术就是从熔体中生长单晶的一种方法,即是采用小的籽晶缓慢地从熔体中垂直拉制出大直径单晶锭的技术。用该法制备出的单晶称为直拉[CZ]单晶。 现在所使用的半导体硅单晶绝大多数都是用该法生产的,大直径的GaAs单晶也越来越多地采用该法来生产了。 |
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