均方根差（RMS），英文名为root mean square error，中国学者将其称为“中误差”或 “标准差”。它的探测概率以置信椭圆（confidence ellipse，用于二维定位）和置信椭球（confidence ellispsoid，用于三维定位）来表述。置信椭圆的长短半轴，分别表示二维位置坐标分量的标准差（如经度的σλ和纬度的σφ）。一倍标准差（1σ）的概率值是68.3%，二倍标准差（2σ）的概率值为95.5%；三倍标准差（3σ）的概率值是99.7%。许多中外文献所述的“精度”多为一倍标准差（1σ），且用距离均方根差（DRMS）表示二维定位精度。距离均方根差也称为圆径向误差（circular radial error）或均方位置误差，另有一些作者常采用“双倍距离均方根差”（2DRMS）。