测径仪概述

测径仪分类简介(激光扫描测径仪 CCD投影测量径仪 激光衍射测径仪)

测径仪概述

测径仪大至分ZM100激光扫描测径仪，CCD投影测径仪，激光衍射测径仪，其中前两者都属光学的几何原理，后者为利用光学的波动原理。

测径仪分类简介

激光扫描测径仪

这也是用得较多的一种，在国外以beta公司开发较早，而国内以明锐科技开发相关设备较早，1987年第一台测径仪在明锐科技公司前身三立研制所诞生，他利用旋转的八面镜将射来的激光形成扫描带，扫描带再扫描被测物体形成投影，其投影宽度可以通过光电管接收并测量得来。其主要适合大直径测量，据有精度高的特点，目前明锐相关产品精度最高可达0.5um，小直径测量由于其光斑本身比被物大，且产生干涉衍射现象，不容易较好的测量，但据说辉煌也有相关的细丝测径仪，也是利用扫描测量原理。

ZM100激光扫描测径仪由两部分构成：发射器1 和接收器2。激光发光二极管3的光通过光学系统4形成了光幕。被测物体5的阴影图像通过望远镜系统6最终形成在线性CCD阵列7上。信号处理器9计算出它的大小。

CCD投影测量径仪

由于电机速度毕竟有限，而且扫描的平行光带不太容易保证，再加上现在平行光管与CCD的技术的发展，现在很多企业开始采用CCD成像法测量直径，在国内以上海欧列在这方面做得较早，其光源采用波长较长的红外光，抗干扰较强，由于少了许多机械件，所以设备较稳定可靠，但CCD成像受相素的制约，在精度上不太容易拓展，特别是大直径的物体测量，但又不能太细，太细会有扫描测径仪相同的问题。

激光衍射测径仪

利用衍射原理测量细线的直径，目前这项技术在国内仅辉煌测控一家，而且据说都是引进的德国的技术，此技术与前两项刚好相反，只适用于测小直径的细丝，而且越细越好，因为此技术是利用衍射原理，理论只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射最明显。目前明锐的的产品在测量5um到300um的细丝是没问题的，据说可以测量到500um。其精度由于限于标准样件和测试环境的影响，现在只有0.2um左右，但其重复精度相当高，所以只要有标准样件和良好的测试环境，精度是可以再次大提高的，这也是细丝测径仪的一个发展方向。现在市场上已经出现明锐做的测径仪最大已经可以测量400mm,精度竟然可以到0.5mm.市场上谨此一家，另外几家最多只能做到60mm，可想到明锐科技研发能力非同一般。