介质隔离(Dielectric isolation)技术是集成电路制造中的一种隔离元器件的方法。
集成电路是由许多元器件构成的,各个元器件之间往往需要进行电绝缘体——隔离。常用的隔离技术有pn结隔离和介质隔离等。介质隔离是采用SiO2膜来实现隔离的,漏电小、耐压高,性能优良,但是工艺比较复杂。
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