基本信息
内容简介
作 者：本社 主编
出 版 社：凤凰出版社
出版时间：2010-1-1
版 次：1页 数：6字 数：13000印刷时间：2010-1-1开 本：大16开纸 张：胶版纸印 次：1I S B N：15506955包 装：平装
本标准个性采用SEMI MF 1188-1105《用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法》。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
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