光束质量因子是激光光束质量的评估和控制理论基础。其定义为其中：R为实际光束的束腰半径，R0为基膜高斯光束的束腰半径

θ为实际光束的远场发散角，θ0为基膜高斯光束的远场发散角。

光束质量因子为1时，具有最好的光束质量。