高纯气体系统用针形阀(Usedin High Purity Gas System Needle Valve)

气体工业名词，是用来细调高纯气体流量的阀门，通常要求采用不锈钢材质，内漏及外漏速率均有严格要求，材质与气体接触的表面要经过特殊处理，以确保气体通过时无粒子脱落且不吸附气体；它具有针形的阀瓣和阀座。其调节精度主要取决于通径和阀针锥度的大小。国外已实现气体1mLh的精确控制。工作压力可高达35MPa，适用温度-60～232℃。