COP [poly (glycidyl methacrylate-co-ethyl acrylate)] ，甘油醇丙烯酸脂共四乙基丙烯胶盐

这是一种化工原料。在集成电路工艺技术中，现在常常用作为电子束曝光的一种负性抗蚀剂；因为它在显影时也像其他负性抗蚀剂一样会膨胀，故分辨率只有1μm左右。