基本信息

作 者： 苑伟政，常洪龙 编

出 版 社： 西北工业大学出版社

ISBN： 9787561227589

出版时间：

版　次：

页　数： 218

装　帧： 平装

开　本： 16开

所属分类： 图书>科技>一般工业技术

内容简介

《泛结构化微机电系统集成设计方法》提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提出的一种新的方法和理论，是对当前通用的微机电系统结构化设计方法的重要发展和提高。依据本方法实现了国产微机电系统集成设计工具（MEMS Garden），并结合大量典型和复杂MEMS器件实例验证了本方法和设计工具的实用性和先进性。　《泛结构化微机电系统集成设计方法》可供微机电系统相关学科的科研人员参考。