西汉设端氏县，故治在今山西沁水县郑庄镇河头村，隶属河东郡。三国、西晋、十六国属平阳郡。北魏太平真君七年（446）端氏县废。太和二十年（496）复置，隶安平郡。隋开皇三年(公元583年)，端氏县治由迁至今山西沁水县端氏镇端氏村，大业三年（607）隶属长平郡。唐、五代、宋归泽州管辖。元至元三年(公元1266年)，端氏县并入沁水县，隶属于晋宁路。