closed system, closed loop 利用有效处理方法，使废水达到循环利用的要求。

闭路循环是指在生产中采取一些特殊的处理工艺，将产生的废弃物回收利用，对外无排放，无污染，实现循环利用的过程，从而降低能耗，节约成本，并且有利环境。如多晶硅生产均采用闭路循环工艺流程，使副产物（如四氯化硅等）得以合理、充分的利用。