定义

用途

特点

分级

定义

高纯试剂的一种分类，主要是针对的是电子元件中使用的化学试剂，又称超净高纯试剂，最重要的特点就是金属含量极低。

用途

用于硅片清洗,光刻,腐蚀工序，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

特点

超净高纯试剂具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。　

分级

国际半导体工业协会(　Semiconductor　Industry　Association　)推出　Semic7(　适合　0.8-1.2　微米工艺技术　)　和　Semic8(　适合于　0.2-0.6　微米工艺技术　)　级别的试剂质量标准。

我国在原有的MOS级和BV-1级的基础上，又陆续推出BV-2,BV-3等规格