臭氧灭菌机是使用臭氧发生器制取臭氧，利用臭氧作为消毒剂使用。臭氧灭菌机主要用于食品药品化妆品等行业的加工车间和类似场所的空气灭菌和物体表面灭菌。臭氧灭菌机按安装形式可分为：移动式、壁挂式、吊灯式、落地式等。臭氧灭菌在制药厂GMP车间和HVAC系统配套使用时，通常分为内置式和外置式两种。