AC-63 三向力平衡加速度计是基于最新的微型机电系统（MEMS）技术，并结合了最新工艺水平的电路设计。MEMS加速度计采用可变电容器设计，这个可变电容器通过自定义的专用集成电路（ASIC）在闭环结构中操作。这种MEMS加速度计是由4个独立的薄片结合在一起的叠片。叠片中里面的两个薄片，被硅弹簧拴挂，是一种可移动的结构，叫做检验质量（proof-mass）。这种组合可在移动的检验质量和固定的盖子（Cap）之间形成可变电容。加速度计受到振动时，检验质量在固定的薄片间移动，来回引起不同电容的变化。

为优化加速度计的性能，还设计了自定义专用集成电路。当设备感知到电容的改变时，专用集成电路（ASIC）会施加恢复的静电力以保持检验质量在中心位置。产生的反馈力直接和外加的加速度成正比。DC响应允许传感器在现场易于修理、进行倾斜测试和校准。借助于测试线AC-63加速度计可以完整的被测试，以确保正常运行和精确的加速度测量。

用途：AC-63是为自由场和工业应用中地震强震观测和振动监测设计的三向加速度计。所有这些应用都需要高动态范围的、坚固的传感器，且要求维护最少，可以用简单方法进行周期性的测试。

技术参数：

一般特性

应用：需要坚固传感器的地震强震观测和工业应用

满量程：±2g

可选 ±0.5、±1、±3g

传感器单元

类型：力平衡型加速度计

动态范围：>120dB 在±3g满量程有效

非线性：<0.1%

滞后： <0.01%

轴向灵敏度：<0.2％

带宽：DC ～ 100Hz

DC ～ 50Hz或200Hz可选

阻尼： 0.7 临界

偏移电压漂移：100 μg/℃

量程漂移：75 ppm/℃

满量程输出： 0 ± 10V 差分（20 Vpp）

2.5 ± 2.5V 单端（5 Vpp）

0 ± 5V 差分（5 Vpp）

0 ～ 20mA 电流环路