自燃气体（Pyrophoric Gas）

气体工业名词术语，是指在气温≤54.15℃下，当与空气接触时能自发着火的气体。在半导体工业常用材料气体中，硅烷，磷烷，乙硼烷均属于自燃气体。在生产，运输，贮存和使用这些气体时，应特别注意气体不要泄漏，以防与空气混合自燃，甚至形成爆炸性混合气。