简单说的话，靶材（“耙材”的写法不太通用）就是高速荷能粒子轰击的目标材料。

例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜技术和磁控溅射镀膜技术的有效结合，可使设备的适用范围更广，方便到不同性能的膜层。适用在塑料、陶瓷、金属等材料上镀制仿金膜、铝膜等。

更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。