油扩散真空泵是指扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

产品标准主要有：

SJ1776-1981《CK-100～600超高真空金属油扩散泵结构型式与参数系列》

SJ1777-1981《CK-100～600超高真空金属油扩散泵技术条件》

SJ1778-1981 《 CK-100～600超高真空金属油扩散泵试验方法》

产品的极限压力可达到0.000000005-0.0000000005托。