对某物质进行X射线照射会产生元素的固有X射线。萤光X射线装置就是利用这个X射线而得到元素信息的。以下简单地说明一下X射线的产生原理。如图A所示,用比K层电子所持能量更大的X射线对物质进行照射, K层电子向外飞出而出现空穴。出现空穴后K层会变的很不稳定,此时L层或M层的电子将会补全这个空穴。但Ｌ层或M层的电子所持能量要比K层的大,所以当L层或M层的电子补全时会产生等同于能量差的X射线强度。产生的X射线与元素特征密切相关(固有X射线),所以根据强度比可以得到元素信息。

萤光X射线分析仪由萤光X射线分析装置，X射线管，X射线高压电源及控制电路组成。