西安励德微系统科技有限公司是由西北工业技术研究院和陕西省微/纳米系统实验室共同投资成立，是由一批微机电系统、光电检测和半导体制造等领域的技术专家和优秀管理人才组成的高科技企业。以航空/航天、工业检测和汽车电子为核心业务，提供半导体和微系统工艺服务、设计咨询和设计软件销售。实验室拥有无尘室700平方米，各类微加工设备40余台，总值3000万元，具备多种MEMS微加工和微器件的静态、动态性能测试能力。公司提供MEMS传感器、MEMS执行器等相关集成微系统，公司致力于MEMS工艺研发，并已在MEMS微型扫描镜(扭转镜)以及MEMS微型光栅发面取得了国内领先地位！公司并提供MEMS的加工技术服务，工艺机构设计以及MEMS结构版图绘制咨询。

公司对外提供的MEMS工艺服务包括：单面光刻/双面光刻，硅-玻璃阳极键合，KOH/TMAH湿法腐蚀，干/湿法氧化，多晶硅/氮化硅/二氧化硅低压化学气相沉积（LPCVD），多晶硅/氮化硅/二氧化硅反应离子刻蚀（RIE），硅深槽刻蚀（DRIE），化学机械抛光（CMP），快速热退火（RTA），划片，平行缝焊，台阶测试，表面轮廓测试，激光多普勒测试，方块电阻测试，IV测试，CV测试等。