双级减压器（Two Stage Regulator）

气体工业名词，气体经两次减压到使用压力。其流速和压力稳定性优于单级减压器。属于高纯，防扩散，金属膜片结构；采用316L或黄铜材质；组装前所有零部件均经超声波清洗；在100级洁净室内组装，试验和包装。包装在充氮气（经0101Lm过滤器过滤）的双层聚乙烯袋中。要求减压器死体积小。入口压力最高为21MPa；出口压力为01007～015MPa，流量系数为0106，工作温度为-40～175℃，内表面光洁度为15～25Ra，内漏1×10-9mLs（He）；出口压力升高：入口压力每升高017MPa，则出口压力上升7kPa。