Varian Associates公司成立于1948年，由Russell H.、Sigurd F. Varian、William Webster Hansen、以及Edward Ginzton等四人所创办，最初以销售极超短波电子管（klystron）及电磁设备为其业务。

1999年Varian Associates将其半导体设备业务分立成独立公司，称为Varian Semiconductor，另外也将其科学设备业务分立成Varian, Inc.，而原公司保留下医疗设备业务，并将原公司改名成Varian Medical Systems.。