词条 | 米宝永 |
释义 | 米宝永 男,1939年生,辽宁辽阳人。研究员。1964年毕业于北京工业学院。现任职于中国科学院长春光学精密机械研究所。长期从事微弱信号检测、光电技术和光电测量仪器的研制。曾先后参加和主持了“光学渐变滤光片”。“超软X射线正比计数管”、“掠入射极紫外摄谱仪”、“高精度光电折射仪”、“等离子刻蚀终点监测仪”、“SVJ数字式光电V棱镜仪”、“短波段光子计数器”、“光学膜厚动态监控仪”等多项课题的研究工作;完成了国家自然科学基金资助项目“亚微米集成电路离子刻蚀工艺终点监测方法研究”;参加研制的“掠人射极紫外摄谱仪”获中院科技进步二等奖;主持研制的“高精度光电折射仪”居国际80年代先进水平,获中科院科技进步三等奖;主持研制的“等离子刻蚀终点监测仪”填补了国内空白,达到了80年代后期国际先进水平,获中科院科技进步三等奖,机械电子工业部“七五”科技攻关优秀成果奖;个人获“七五”科技攻关先进个人奖。在国内外核心刊物上发表了主要论文《A computerized photo-electric refractometer》、《Optical endpoint detection of plasma etching and RIE for LSI circuits》、《用于真空紫外波段弱光光谱测量的光子计数器》、《红外光学材料折射率的光电测量》、《低噪声应力测量头》、《从噪声中提取弱光信号的采样跟踪滤波器》等20余篇。现从事航天遥感仪器的研制工作。 |
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