氯硅烷;chlorosilane

硅烷SiH4中的氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄色，

通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3；

氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。

与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。

可由硅粉与氯化氢于290～400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，

在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。

用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。

此外，四氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯度硅的的中间产物。分馏後，可以获得99.999999999%（十一个9)纯度的硅。

健康危害：吸入、食入对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，会引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿，并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。溅在皮肤上，可引起坏死、溃疡，长期不愈。

急救措施：皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用流动清水冲洗15分钟以上。若有灼伤，就医治疗。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗15分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。食入：患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清，立即就医。

泄漏应急处理：疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上苏打灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除。