| 词条 | LIGA |
| 释义 | § 定义 LIGA LIGA是德文Lithographie，Galvanoformung和Abformung三个词，即光刻、电铸和注塑的缩写。 LIGA工艺是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术（工艺流程如图所示），主要包括X光深度同步辐射光刻，电铸制模和注模复制三个工艺步骤， § 特点 与其他立体微加工技术相比，LIGA工艺具有如下特点： 1）可制作高度达数百至1000微米，高宽比大于200，侧壁平行线偏离在亚微米范围内的三维立体微结构； 2）对微结构的横向形状没有限制，横向尺寸可小到0.5微米，加工精度可达0.1微米； 3）用才广泛，金属、合金、陶瓷、聚合物、玻璃都可以作为LIGA加工的对象； 4）与微电铸、注塑巧妙结合可实现大批量复制生产，成本低。 LIGA工艺是由德国卡尔斯鲁厄核研究中心在80年代开发出来的，其发展非常迅速。目前，德国、美国、日本以及我国都开展了在该技术领域的研究。 |
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