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词条 分子束外延法
释义

§ 简介

生长系统配有多种监控设备,可对生长过程

进行瞬时测量分析。对表面凹凸、起伏、原子覆盖度、黏附系数、蒸发系数及表面扩散距离等生长细节进行精确监控。由于MBE 的生长环境洁净、温度低、具有精确的原位实时监测系统、晶体完整性好、组分与厚度均匀准确

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更新时间:2024/12/19 1:42:11