| 词条 | 集成电路制造工艺 |
| 释义 | 图书信息书 名: 集成电路制造工艺 作 者：史小波 出版社： 电子工业出版社 出版时间： 2007年09月 ISBN: 9787121049705 开本： 16开 定价: 18.00 元 内容提要本书共8章，介绍了集成电路的基本概念和背景知识，系统介绍了半导体材料、硅平面工艺流程、封装测试等内容。本书力求通俗易懂，突出实用性和可操作性，重点放在基本概念和基本方法的讲解上，并配有大量图片，同时针对初学者易出现的问题进行重点讲解。 本书可作为高职高专微电子及电子信息类专业的教学用书，也可作为有关技术人员学习集成电路制造工艺的参考资料。 目录第1章 概述 第2章 半导体材料 第3章 硅平面工艺流程 第4章 薄膜的制备 第5章 光刻技术 第6章 掺杂技术 第7章 金属化与平坦化 第8章 芯片封装与装配技术 附录A 术语表 参考文献 |
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