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词条 集成电路制造工艺
释义

图书信息

书 名: 集成电路制造工艺

作 者:史小波

出版社: 电子工业出版社

出版时间: 2007年09月

ISBN: 9787121049705

开本: 16开

定价: 18.00 元

内容提要

本书共8章,介绍了集成电路的基本概念和背景知识,系统介绍了半导体材料、硅平面工艺流程、封装测试等内容。本书力求通俗易懂,突出实用性和可操作性,重点放在基本概念和基本方法的讲解上,并配有大量图片,同时针对初学者易出现的问题进行重点讲解。

本书可作为高职高专微电子及电子信息类专业的教学用书,也可作为有关技术人员学习集成电路制造工艺的参考资料。

目录

第1章 概述

第2章 半导体材料

第3章 硅平面工艺流程

第4章 薄膜的制备

第5章 光刻技术

第6章 掺杂技术

第7章 金属化与平坦化

第8章 芯片封装与装配技术

附录A 术语表

参考文献

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更新时间:2025/3/19 16:55:41