集成电路线宽指由特定工艺决定的所能光刻的最小尺寸，一般等于沟道的最小宽度。

集成电路的线宽通常可理解为所加工的电路图形中最小线条宽度，但在MOS电路中，人们也常栅极长度来定义线宽。集成度与线宽有对应关系，即集成度越高，线宽越小，所以，线宽也常用来表示集成电路制度技术水平的高低。现在，世界上生产集成电路的主流产品线宽为0.25微米。满足0.25微米线宽要求的硅抛光片，可用于批量生产64M 集成电路，也可用于试制256M集成电路样片。

集成电路的集成度是指单块芯片上所容纳的元件数目。集成度越高，所容纳的元件数目越多。如目前已批量生产的64M集成电路，集成度为64M，粗略地讲，这种单块芯片上集成有6000万个元件。

目前，世界上做先进的集成电路线宽已降到0.13微米，即130纳米!集成电路发展的极限是指电子计算机集成电路的电路线宽细到0.01微米。按照现在集成电路的概念，1纳米（0.001微米）的工艺是难以实现的，因为这时量子效应已经呈现出来，器件已经不能按原来的机理来正常工作了。在1纳米尺寸时，只有利用量子效应、采用所谓量子电子器件来构成电路。那将使集成电路更上一个新的台阶，世界也将会大放光彩。

我国大力扶持集成电路产业。根据新18号文(国务院进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策)，对集成电路线宽小于0.8微米（含）的集成电路生产企业，经认定后，自获利年度起，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税；对原18号文中集成电路线宽小于0.25微米或投资额超过80亿元的集成电路生产企业，经认定后，减按15%的税率征收企业所得税，其中经营期在15年以上的，自获利年度起，第一年至第五年免征企业所得税，第六年至第十年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。