词条 | 沟道阻止层 |
释义 | 沟道阻止层(Channel stopper)是MOS工艺中的一个术语。 在p型硅衬底上通过热氧化等平面工艺来制作器件和电路时,往往由于SiO2薄膜中存在有正电荷(Na离子沾污等所致),使得p型硅衬底表面上出现n型寄生沟道而造成短路;为了防止这种n型寄生沟道的产生,就在p型硅衬底的器件有源区以外的表面上注入硼离子(剂量约为1013/cm2),形成一层较高掺杂浓度的p型层,这样p型层就称为沟道阻止层。 |
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