请输入您要查询的百科知识:

 

词条 沟道阻止层
释义

沟道阻止层(Channel stopper)是MOS工艺中的一个术语。

在p型硅衬底上通过热氧化等平面工艺来制作器件和电路时,往往由于SiO2薄膜中存在有正电荷(Na离子沾污等所致),使得p型硅衬底表面上出现n型寄生沟道而造成短路;为了防止这种n型寄生沟道的产生,就在p型硅衬底的器件有源区以外的表面上注入硼离子(剂量约为1013/cm2),形成一层较高掺杂浓度的p型层,这样p型层就称为沟道阻止层。

随便看

 

百科全书收录4421916条中文百科知识,基本涵盖了大多数领域的百科知识,是一部内容开放、自由的电子版百科全书。

 

Copyright © 2004-2023 Cnenc.net All Rights Reserved
更新时间:2025/2/22 3:52:45