六氟化硫、氟利昂、四氯化碳等许多种卤化物气体的击穿现象。这些气体的击穿场强比空气的高。其主要原因是卤族元素具有很强的负电性,易于吸附电子形成负离子，而负离子的运动速度远小于电子，很容易和正离子发生复合，使气体中带电质点减少，因而放电的形成和发展比较困难。其次是这些气体的分子量和分子直径都较大,使电子在其中的自由程缩短,不易积聚能量，因而减少了电子碰撞电离的能力。这些气体相对于空气的击穿场强，或称相对介电强度列于表中。

表中还列出了上述材料在98千帕下的液化温度。电力设备中选用负电性气体作为绝缘介质时，除要求高介电强度外，还要求较低的液化温度和良好的化学稳定性。因为液化温度较高的气体不能在低温下或寒冷地区运行，也不能增加压力以提高其击穿电压；化学性能不稳定则容易分解或与其他材料起反应。例如CCl4的介电强度虽然较高，但其液化温度过高，而且在放电过程中容易分解产生氯气。SF6则液化温度低而化学性能稳定，它的相对介电强度为2.5～3.0，在工程中应用最为广泛。