电子级双氧水是微电子行业专用化工原料，主要用于半导体制造过程，产品品质要求高且精度随信息技术发展而不断升级，工业化生产有较大的技术难度，目前国内尚无规模化生产装置。本课题研制的一套高性能电子级双氧水纯化装置 ,具有占地面积小、耗能省、原料单耗低、产品纯度高、易自动控制、所耗人力省、原料来源易得、技术能级高、产品盈利水平高等优点。