词条 | 等离子体放电原理与材料处理 |
释义 | 图书信息书 名: 等离子体放电原理与材料处理 作 者:迈克·A.力伯曼(Michael A. Lieberman), 阿伦·J.里登伯格 (Allan J. Lichtenberg) 译 者:蒲以康等 出版社: 科学出版社 出版时间: 2011年3月4日 ISBN: 9787030186591 开本: 16开 定价: 75.00元 内容简介《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。 作者简介作者:(美)迈克·A.力伯曼(Michael A.Lieberman) 阿伦·J.里登伯格 译者:蒲以康 等 迈克尔·A·力伯曼,博士,加利福尼亚大学伯克利分校电子工程研究生院教授,曾发表170多篇有关等离子体、等离子体材料处理和非线性动力学方面的研究论文,而且同里登伯格教授合著有Regular and Stochastic Motion和Regular and Chaotic Dynamics(第二版)。 图书目录第1章 概述 第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 第3章 原子碰撞 第4章 等离子体动力学 第5章 扩散和输运 第6章 直流鞘层 第7章 化学反应和平衡 第8章 分子磁撞 第9章 化学动力学与表面过程 第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡 第11章 容性放电 第12章 感性放电 第13章 波加热的气体放电 第14章 直流放电 第15章 刻蚀 第16章 沉积与注入 第17章 尘埃等离子 第18章 气体放电的动理论 附录A 碰撞动力学 附录B 碰撞积分 附录C 变迁移率模型中的扩散方程的解 参考文献 |
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