准分子激光用聚光透镜是用于Kr*F准分子激光（248 nm）或其它紫外线光源（193—400 nm）的空气隙三合或双合透镜。它由准分子激光用人造熔融石英玻璃制成。

在248 nm波长，对球差和彗差进行了优化；在193—400 nm波长范围内对其进行了校正。由于透镜是由同一材料制成，所以它不是消色差透镜

F数≥2的三合透镜和F数≥5的双合透镜，对于理想的高斯光束，设计时，其焦点光斑直径和其衍射极限尺寸相同。