准分子光源（ELS）

准分子光源的出现

在光源辐射机理研究中，近年来采用准分子（Excimer）工作物质，如KrF、ArP、NeF和XeCl等，来制造高功率的紫外光源。同时，通过微波放电和介质阻挡放电（DBD，Dielectric Barrier Discharge）等无极放电形式可制成新型的准分子辐射光源，其工作物质为Xe2（172nm），Kr2（146nm）或Ar2（126nm），其中Xe2准分子光源的效率最高，光能转换效率达50%以上。现已制成58×68cm的60瓦Xe2准分子大面积平面照明系统，尤其这种灯内无剧毒的汞元素的优点，对环境保护意义深远。目前已有能将172nm高效转换成可见光的荧光粉产品，并制成有实用价值的平面无汞荧光灯产品出售，如图所示，它在LCD的背景照明中已获得成功应用。可以预言，随着研究和工艺的深入，尤其是生产成本的降低，准分子光源前途被人们看好。