简介

科学研究

简介

庄惠照，副研究员，微电子学与固体电子学硕士研究生导师，从事半导体物理与器件的研究开发、研究生教学及培养等工作，在本研究领域内具有系统扎实的理论基础和专业知识，多年以来辛勤耕耘、教书育人。

科学研究

1990年至1995年承担完成国家“八五”攻关项目《超大规模集成电路封装技术研究》，子专题《85－705－04－01VLSI硅片背面金属化研究》,1995年通过国家级鉴定，1996年获重大成果奖（首位）。

1992年至1995年承担完成省科委《大台面电力半导体玻璃钝化技术研究》项目，1995年通过省级鉴定，1997年获山东省科技进步二等奖（首位）。

1997年至2000年承担完成《高气密四十线VLSI玻璃陶瓷熔封技术研究》项目（首位），2002年通过省级鉴定。

2001年至2004年承担完成省教委《复合纳米钝化保护材料新研究》项目（首位），2006年通过省级鉴定。