重庆大学微系统中心依托于重庆大学，主要合作单位有中国电子科技集团公司第二十四研究所等。中心主要从事MEMS设计、研发及加工关键技术研究、产业化转化和人才培养。

中心承担和完成了国家“863”MEMS重大专项、国家“973”“微光机电系统”、总装备部“微米/纳米专项”、国家自然科学基金委“重大项目”、国家“科技攻关”和重庆市“科技攻关”等国家和省部级项目40余项，经费近3500万元；和德国政府科教部已签订达1250万欧元的合作研究项目。研制出的“微型光谱分析系统”、“微型生化光谱分析仪器”达到国际先进水平，现在正在产业化研究开发和试生产。“基于MEMS的人体腔道诊疗系统”样机已完成动物实验，进入临床实验阶段。申请专利近40项，发表论文200余篇；已形成具有自身特色的研究方向、在国内外具有重要影响的微光机电系统技术研究和产业化的工程中心。

中心建立了面向西南地区的“MEMS器件及系统设计开发联合开放实验室，拥有国际先进的MEMS和CMOS电路设计及模拟软件，MEMS传感器及微型分析仪器的组装和测试设备。中心以中国电子科技集团公司第二十四研究为核心的中心加工平台已成为国内IC和MEMS器件集成的加工的重要平台，现有一条 4英寸2μm CMOS生产线，一条6英寸0.8μm BiCMOS生产线正在试运行中。

中心与美国UCSB、德国弗劳恩霍夫工程研究院、开姆尼兹大学、意大利圣安娜大学、法国原子能委员会、芬兰、加拿大、泰国、台湾、香港中文大学等国家和地区的研发机构开展了学术交流，开展了卓有成效的国内外项目合作研究和学术交流。