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词条 单晶炉
释义

单晶炉的构成

提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成

 副室:主要是副室筒以及上下法兰组成

 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成

 炉筒:包括取光孔

 下炉筒:包括抽真空管道

 底座机架:全铸铁机架和底座

 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成

 分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等

 氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件

 真空泵已经真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等

 电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线

单晶炉的定义

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

购买技术主要要求

1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度) 5设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。

单晶炉型号定义

单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的

单晶炉主要需要控制的方面

一、晶体直径(尺寸)

二、温度(功率控制)

三、原料(硅料)

四、泄漏率,氩气质量等

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更新时间:2025/2/25 2:01:29