| 词条 | 直流磁控溅射电源 |
| 释义 | 一、工作原理及其作用直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负 载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。 二、技术说明电源功率范围 10-120KW 输入电源 AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10% 输出方式 直流 输出电压 空载800V 灭弧时间 ≤ 20uS 输出电流稳定率 0.5% 冷却方式 10-60KW 风冷 60-120KW 水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 冷却水 清洁 不含矿物质及其它可溶性物质 注：电源的输出特性可根据使用需要做出相应的调整。 |
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