光绪二十四年（1898年），升喀喇沙尔直隶厅为焉耆府，下辖新平县（尉犁）、卡克里克县丞和布古尔分防巡检。宣统元年（1909年），焉耆府下辖新平、婼羌、轮台三县。民国2年（1913年）4月，焉耆府改为焉耆县。即今新疆焉耆回族自治县。