典型线宽在亚微米(小于1u到O．5u)和深亚微米(O。5u以下至0．05u)尺寸的集成电路。目前典型的亚微米集成电路线宽为0．8u、0．5u，典型的深亚微米集成电路线宽为0．35u、0．25u、0．18u，小于0．1u的集成电路尚在实验室研制之中。一般认为线宽小于0．05u(50纳米)以下，将由量子效应需要有新的原理，超出了现在的微电子技术范围。(1微米(u)；干分之一毫米(mm)，1纳米(nm)=干分之一微米)