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作　者：云乃彰，朱荻 著丛 书 名：国防科工委“十五”规划教材出 版 社：哈尔滨工程大学出版社ISBN：9787811332384出版时间：2008-05-01版　次：1页　数：227装　帧：平装开　本：16开所属分类：图书 > 教材教辅 > 大学教材

内容简介

《国防科工委“十五”规划教材：微机电系统与微细加工技术》共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。《微机电系统与微细加工技术》可作为机械工程类或其他工程类本科生、研究生课程的教材，也可以作为其他有关技术人员了解微机电系统与微制造技术的参考书籍。

目录

1 绪论

1.1 微机电系统与微型化

1.2 微型化韵基础——微细制造

2 微机电系统组成原理及设计

2.1 微机电系统的组成和工作原理

2.2 微尺度理论基础

2.3 计算机辅助设计

习题

3 微细加工技术

3.1 硅微细加工

3.2 UGA技术

3.3 微细电火花加工

3.4 微细电铸

3.5 微细电解加工

3.6 微细高能柬流加工

习题

4 微机电系统的检测

4.1 MEMS器件的几何量测量

4.2 力学性能测试

习题

5 微机电系统的应用

5.1 微机电系统的军事应用

5.2 微机电系统在民用工业中的应用

习题

参考文献

前言

国防科技工业是国家战略性产业，是国防现代化的重要工业和技术基础，也是国民经济发展和科学技术现代化的重要推动力量。半个多世纪以来，在党中央、国务院的正确领导和亲切关怀下，国防科技工业广大干部职工在知识的传承、科技的攀登与时代的洗礼中，取得了举世瞩目的辉煌成就。研制、生产了大量武器装备，满足了我军由单一陆军，发展成为包括空军、海军、第二炮兵和其他技术兵种在内的合成军队的需要，特别是在尖端技术方面，成功地掌握了原子弹、氢弹、洲际导弹、人造卫星和核潜艇技术，使我军拥有了一批克敌制胜的高技术武器装备，使我国成为世界上少数几个独立掌握核技术和外层空间技术的国家之一。