微粗糙度

微粗糙度是实际表面同规定平面的小数值范围的偏差，它有许多小的距离很近的峰和谷。它是硅片表面纹理的标志。表面微粗糙度测量了硅片表面最高点和最低点的高度差别，它的单位是纳米。粗糙度的标准是用均方根来表示的，它是规定平面所有测量数值的平方的平均值的平方根。这是一个用来确定最可能的测量数据的普通统计方法。硅片表面的微粗糙度的测量是用几种光学表面形貌分析仪的一种进行的。

对芯片制造来讲，表面微粗糙度的控制非常重要，这是因为在器件制造中，它对硅片上非常薄的介质层的击穿有着负面影响。硅片在磨片后要刻蚀以去除表面微粗糙度。