衰减全反射（Attenuated Total Reflection，ATR）：光波入射时，入射面内偏振的单色平面光波在密－疏媒质的界上全反射时，光疏媒质中所形成的迅衰场(见衰减波)量可以被耦合到金属或半导体的表面上而使表面等离元(SP)或表面极化激元共振激发。全反射的光强因而发生剧邃衰减的现象。

利用光学中的迅衰场与SP相耦合衰减全反射方法在1968年由A.奥托提出。