引言

特点及参数：

工作原理与结构：

引言

在工业自动控制、汽车、地震测量、军事和空间系统等领域中的许多场合都是用冲击加速度传感器，由于受工作环境的限制，要求冲击加速度传感器应具有高的谐振频率，动态性能要好，以保证快速、准确测试出被测对象的冲击力或冲击加速度。

特点及参数：

冲击加速度传感器，采用MEMS技术与微电子技术成果研制而成,集加速度传感器、信号变换器、电源变换器、信号滤波电路、饱和控制与温度补偿于一体,具有微体积、微功耗、微噪声、高集成、高稳定、高可靠、低温漂、环境适应性强等特点。适用于最大量程达100000g 的冲击加速度参数测量与控制。

量程 ±100000g

频率响应 0.1～10000Hz

输出信号 0.15 ±50mv～4800mv(可变) 测量线性度、重复性及迟滞性

均优于1% 供电电压 ±15±0.5V 功耗

工作原理与结构：

冲击加速度传感器的结构形式多，常见的有柱式、膜片式结构，图中是我们采用的周边圆支圆形规膜片结构，中心带敏感质量块。靠近圆膜片边缘应变最大的位置，用扩散参杂法沿径向110和切向110晶向扩散四个阻值相等的电阻条，经蒸渡铝电极链接4个性能一致的电阻构成惠斯顿电桥。