三束微细加工技术即通过电子束、离子束、光子束（激光、x射线）对待加工材料表面进行轰击（曝光）处理进而在亚微米、纳米尺度达到表面改性、刻蚀、表面掺杂改性、薄膜沉积等加工效果的加工技术。这种技术广泛应用于微电子器件加工、集成电路制造、微细图案刻蚀、离子注入掺杂、薄膜的沉积等加工与表面改性领域。