释义

Penning真空计

释义

真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。属于根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化这类的真空计。

Penning真空计

Penning真空计是利用真空中的放电现象，测量中高真空领域的温度计，测量性稳定，耐用性久为其特点。

Penning真空计构造原理

Penning真空计利用Penning放电现象。一般而言，冷阴极放出的电子比热阴极少。单纯在阴阳两极间加电压，如果压力低于0.1Pa则不会持续放电。为了增加电子飞行距离，从外部加磁场，这样可使在更低的压力下也可放电。

Penning真空计特征用途

Penning真空计测量性能稳定，可测量高真空领域的电流。因为是冷阴极方式，不必担心电极的烧损问题。缺点是放电稳定性有一定不足。另外从阴极放出的电子量受表面污染影响严重。

根据以上特点，此真空计适合不想频繁更换真空计的高真空领域设备上，同时因为此真空计本身有较强的磁场，要考虑其安装在设备上的位置。

让真空中的残留气体电离，通过测量电离生成的离子或电子的电流而得出气体的压力，这种真空计被称为电离真空计。电离真空计让有几十eV的电子碰撞气体分子使其电离。电子的产生方式有两种：一种是加热金属丝放出热电子(热阴极)，另一种方式是利用等离子体(冷阴极)。Penning真空计是冷阴极电离真空计的一种。