超声波流量计仪式是一种用于检测半导体制造装置内，涂布药液的流量管理的一种测量仪器，此种仪器的特性是配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间 ； 顺流的超声波会很快到达，相反逆向的超声波则会较晚达到，根据传播时间算出流速，并通过流速算出流量。