明洪武元年（1368年），废元代柳州路，设柳州府，辖马平、柳城等2州10县。 府治所置马平县城（今柳州市城中区南半部）。府隶广西行中书省（后改称广西承宣布政使司）。清代初期，柳州府属右江道，康熙二十二年（1683年），右江分巡道署从宾州迁柳州府城。 道辖柳州等3个府。雍正三年（1725年），柳州府分出宾州、来宾等1州4县。十二年（1734年），来宾还属柳州府，府辖马平、柳城等1州7县。马平县为府治所。民国2年（1913年）6月，以“划一现行各省行政区域”，北洋政府申令“各省一律裁府，由道领县”，柳州府裁撤。